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听到江晟问自己想选哪条路线，臧教授有些苦恼： “既然决定换路线，那作为阿斯麦技术延续的高数值孔径euv，首先排除。 还有x射线光刻，因为掩膜材料容易被损伤，加上高功率、稳定的x射线光源体积太大，大到有足球场大，也可以去掉。 原子层光刻因为技术难度太大，十年都不一定能研发出来，只能暂时搁置。 剩余的两条路线，ebl电子束光刻和nil纳米压印光刻都不错，一时半会我也难以决定。” “电子束和纳米压印吗” 江晟想了想，状似很随意地建议道，“那就选纳米压印吧！” “为什么” “我刚才好像听你说，纳米压印设备的成本，只有euv的1/5甚至1/10，而且制程步骤简单” “是的。” 臧教授点点头，“如果能解决缺陷率和模板寿命问题，这个路线是成本最低的。” “那不就结了，反正每一条路线，都有难关需要攻克，那我们为什么不选择一条成本最低的只要将问题解决，那光是成本优势，就能让我们立于不败之地！” 所谓天下武功，唯快不破，在任何行业，低成本优势，都是绝对的大杀器。 东大的商品，之所以能风靡全球，将其他国家的同行打得节节败退，在很大程度上就是靠便宜。 如果真能把光刻机的价格，打到euv的1/10甚至更低，那芯片代工的价格，是不是也要降 到时候，所有拿不到莲蓬光刻机的芯片代工厂，都会被能拿到的同行，如中芯国际和莲芯半导体挤兑倒闭。 “可是……” 臧教授仍有些犹疑，“论精度，纳米压印是不如电子束的。” “纳米压印的精度不是可以支持1nm吗” “纳米压印支持1nm制程，只是在理论上可以做到，可电子束，在理论上能达到原子级，也就是0.1nm。” 说到这里，臧教授对江晟正色道： “虽然就目前来说，1nm已经非常非常先进，可能七八年之后，都不一定能做到量产。 但它的潜力，没有其他路线大，一旦走到底，就可能面临无路可走的窘境，只能重新换方向。 到时候，我们又将面临落后的局面！” 他的意思很明白，拿玩游戏的话说，就是纳米压印再好，也只是前期极品，而电子束，是可成长性装备，能一直用到后期。 闻言，江晟笑了笑：“1nm制程，只要成本够低，我想即便阿斯麦或其他厂商，研发出低于1nm的光刻机，也有足够竞争力吧 而且，只要我们研发速度足够快，成本和售价足够低，友商能不能撑到，推出低于1nm的光刻机还不好说。 更重要的是，我选纳米压印，不等于就放弃其他路线。 如果，在友商研发出低于1nm的光刻机时，我们在原子层光刻技术也取得突破呢” 臧教授一懵：“你想同时走两条路线” “不错。” 江晟点点头，“既然原子层光刻，是光刻技术的终极形态，那我们没道理放弃。 高精度我要，低成本我也要。如果能把这两条路同时走通，那不管低端，还是高端市场，都会被我们吃掉。 阿斯麦，还有富士通等友商，就算想转低端都不行！” “……” 臧教授看着江晟，过了许久才有些无奈道： “江总，你的想法很好，但有没有想过，我们的研发能力，能支撑两条路线同时进行吗 先不说分散力量，会不会影响研发进度，因为三心两意，导致竹篮打水一场空。 就说原子层光刻，想要完成研发，可能三十年，也可能五十年，甚至更久。 这会与纳米压印技术，形成一个青黄不接的空当。在这个空当内，我们怎么办” 听到这话，江晟激将道：“你不是说，研制光刻机不难吗” “我说的是，研制duv不难，不是说研制原子层光刻不难。”臧教授辩解说。 江晟决定暂时搁置这一话题，转而问道： “那你想选哪个” “我……” 臧教授一张嘴，刚要回答，却心中一动，道： “如果我选择ebl电子束光刻路线，你会怎么做” “那就再找一个团队，研究原子层光刻。” 江晟回答得十分坦然。 就像之前说的那样，既然原子层光刻，是光刻技术的终极形态，那他就没道理不做布局。 对别人说，动辄三十年、五十年，甚至更长时间的研发周期，令人望而生畏。 但对手握研发卡和灵感卡的他来说，原子层光刻并不是那么的遥不可及。 即便道具卡用多了，效果会递减，甚至无效，整个研发周期也会大大缩减。 最长十年，最短可能只要两三年，就能把它研制出来。 “唉！” 臧教授见他打定主意，要同时走原子层光刻路线，忍不住叹了口气，道： “如果你一定要研发原子层光刻，那在此之前，用纳米压印作为过渡，或者说补充，确实比电子束更适合。” “那你……” “我来负责原子层项目吧。至于纳米压印，我给你推荐几个相关方面的专家！” “好，谢谢！” 在确定好方向后，臧教授很快投入到新的研发项目。 由其研制的28nm莲蓬101原型机，及相关技术资料，则和之前的莲蓬001一样，从研发团队中抽调少部分人手，一起转到莲蓬设备。 而臧教授推荐的那几名专家，也毫不犹豫地带着门人弟子，一同投奔金橘。 倒不是因为金橘待遇好，或者说，不只是因为待遇好。 更重要的原因，是因为金橘的研发氛围和研发效率，在东大科研界几乎被神话。 对普通人来说，哆啦a梦什么的，只是一个梗。 但对科研界来说，真的有人吐槽，金橘是不是圈养了一只哆啦a梦，而且吐槽的人不只一个。 因为只有他们，才知道金橘取得的科研成果，尤其莲蓬技术的成果，有多不科学。 尤其在28nm光刻机成功后，江晟只要向特定人员一透露消息，对方就会表示怀疑，然后巴巴地跑来验证。 这一验证，就只能留下来给他打工，再也不想回去。 百发百中，屡试不爽！ 试问，在东大做光刻机及相关研究的，有谁不想成为下一个臧鸣谦 恰在此时，从大漂亮传来一个消息： 鉴于金橘态度不够端正，不愿意配合当局进行审查，并涉嫌操纵股市，将维持全面制裁。 同时，大漂亮还将对东大，实施更加全面的半导体技术封锁，禁止向东大出口高端设备，尤其是芯片制造的关键设备—— 光刻机。
