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白板光滑如镜，倒映着会议室里一张张呆滞的脸。 陈正宇手持马克笔，神情专注，仿佛整个世界只剩下他和眼前这块白板。 他的手臂挥动，笔尖在白板上留下流畅而精准的线条。 那不是随意的涂鸦，而是一连串复杂到令人头皮发麻的数学符号和物理模型图。 “你们现有的lpp（激光等离子体）方案，本质上是‘暴力美学’。” 陈正宇的声音不大，却清晰地传入每一个人耳中，他的语速不快，带着一种独特的节奏感，仿佛一位大学教授正在给自己的学生讲课。 “用高功率的二氧化碳激光器，去轰击高速运动的锡滴靶材，强行将锡原子电离成等离子体，再利用等离子体的复合与跃迁，辐射出波长为13.5纳米的euv光。这个思路，简单粗暴，但效率极低。” 他一边说，一边在白板的左侧，快速画出了当前主流lpp-euv光源的简化结构图，并在旁边标注了几个关键参数。 “能量转换效率（ce），最高0.5%，这是你们无论如何也无法突破的理论天花板。为什么” 他没有等任何人回答，手中的笔在“自吸收效应”那几个字上，重重地画了一个圈。 “因为你们制造出的等离子体，太‘脏’了。” “脏” 一个戴着厚厚眼镜片，看起来四十多岁的技术专家下意识地反问了一句，脸上写满了不解。 在他们这些搞高能物理的人看来，等离子体就是等离子体，哪有什么干净和肮脏的区别 “没错，就是脏。”陈正宇转过身，目光扫过那位专家，“你们的激光脉冲能量密度过高，轰击在锡滴上，瞬间产生的等离子体云团，其核心区域的温度和密度的确达到了辐射euv光的条件。但是，在这个核心区域的外围，包裹着大量未能完全电离的、或者已经开始复合降温的低价锡离子和中性锡原子。” “这些外围的‘垃圾’，对于13.5纳米波段的euv光子来说，是致命的吸收剂。核心区域辛辛苦苦辐射出的光子，还没来得及跑出来，就被外围的同类给重新吸收掉了。这就是‘自吸收效应’的本质。” “你们就像是在一个装满了黑色墨水的游泳池里点亮一盏灯，无论这盏灯有多亮，光都传不远。你们这三年，所有的努力，无非就是想办法把这盏灯做得更亮一点，或者稍微搅动一下池水，但只要墨水还在，一切都是徒劳。” 这番话，说得极其直白，甚至有些刺耳。 但会议室里，没有任何人反驳。 因为陈正宇说的每一个字，都像一把锋利的手术刀，精准地剖开了他们内心深处最不愿承认，却又血淋淋的现实。 林振国院士的身体，颤抖得更厉害了。他那张布满皱纹的脸，涨得通红，呼吸也变得急促起来。 他死死地盯着白板上的那个结构图，又看了看自己草稿纸上那密密麻麻的演算，眼神中充满了痛苦和挣扎。 是啊，他们怎么会不知道“自吸收效应” 为了抑制这个效应，他们调整了无数次激光脉冲的波形，优化了上百种锡滴靶材的尺寸和速度，甚至尝试了各种磁场约束方案…… 可结果呢 能量转换效率，始终在0.3%到0.4%之间徘徊，无论他们如何压榨，都无法触及那0.5%的理论极限。 原来……原来从一开始，方向就错了。 这三年的心血，这上千个日夜的奋战，这整个团队赌上一切的豪赌…… 全都是无用功。 这种从信念根基上被彻底否定的感觉，几乎要将这位为国家奉献了一辈子的老科学家给击垮。 “噗——” 林振国只觉得喉头一甜，一口鲜血差点喷出来，被他强行咽了回去。他的身体晃了晃，几乎要从椅子上摔倒。 “林院士！” “老师！” 他身边的几个学生和同事连忙扶住他，一个个脸上都写满了担忧和悲愤。 “年轻人……你……你凭什么……凭什么这么说……”一个看起来是林振国得意门生的中年专家，红着眼睛，指着陈正宇，声音都在发抖，“你这是在诛心！你这是在否定我们所有人！” “否定”陈正宇的表情没有丝毫变化，他只是淡淡地看着那个专家，“我不是在否定你们，我是在拯救你们。” “因为，我要给你们的，是一条全新的，正确的路。” 说完，他不再理会那些人的情绪，转过身，在白板的右侧，开始绘制一个全新的，结构复杂了十倍不止的物理模型。 “既然高密度等离子体是‘脏’的，那我们就反其道而行之，我们用‘干净’的。” “什么是干净的——极低密度的，预电离稀疏等离子体。” 他的笔尖飞舞，一个个全新的名词和公式，从他笔下流出。 “我们不再使用单一的高功率二氧化碳激光，而是采用双激光脉冲系统。第一道，是纳秒级的紫外预脉冲激光，它的作用，不是产生euv光，而是制造一个‘环境’。” “它将极低浓度的锡蒸气，预电离成一个均匀、稀疏、且几乎没有中性粒子污染的等离子体薄层。在这个薄层里，锡离子的密度，被精确控制在10的15次方每立方厘米的量级，这，就是我们需要的‘净土’。” 会议室里，所有技术专家的呼吸，都在这一刻屏住了。 双激光脉冲 预电离 稀疏等离子体薄层 这些概念，完全颠覆了他们以往的认知！ 林振国也顾不上身体的不适了，他死死地抓住扶手，强撑着身体，那双浑浊的老眼里，爆发出骇人的精光，一眨不眨地盯着白板。 陈正宇的声音，继续在安静的会议室里回响。 “当这个‘净土’制造完成后的皮秒之内，第二道，也是最关键的一道激光——超短脉冲（飞秒级）的深紫外主激光，以一个特定的角度和频率，注入这片等离子体薄层。” “这道主激光的作用，不是暴力轰击，而是‘共振激发’！” “共振激发”四个字一出，林振国的身体猛地一震！ 他像是想到了什么，抓起桌上的笔，在草稿纸上疯狂地演算起来。 陈正宇瞥了他一眼，嘴角露出一丝赞许的笑意，不愧是院士，这么快就抓住了关键。 “没错，就是共振。”陈正宇的声音提高了几分，“我们将主激光的频率，精确调制到与特定能级的锡离子内部电子跃迁频率完全一致！通过共振效应，将能量高效地，几乎是百分之百地，传递给这些锡离子，诱导它们发生雪崩式的集体跃迁和辐射。” “在这个过程中，由于等离子体密度极低，离子间的平均距离极大，‘自吸收效应’被抑制到了可以忽略不计的程度！每一个辐射出来的euv光子，都能畅通无阻地逃逸出来！” “如此一来，能量转换效率，将不再是0.5%。” 陈正宇停下笔，转过身，看着会议室里那一张张如同石化般的脸。 他伸出两根手指，用一种平静到极点的语气，说出了一个足以让整个半导体行业都为之疯狂的数字。 “百分之二十！” “这是我这套‘双脉冲共振激发’方案的，理论最低效率。”
